微焦點技術(shù)以其*的成像性能得到了越來越多的關(guān)注與應(yīng)用。介紹了微焦點X射線設(shè)備的研制現(xiàn)狀和基于X射線焦點成像的物理機(jī)制。分析了微焦點技術(shù)在成像幾何不清晰度、放大比、散射線衰減和細(xì)節(jié)識別靈敏度方面的優(yōu)勢，該技術(shù)可彌補常規(guī)射線照相技術(shù)的不足，在實時成像檢測及工業(yè)X射線檢測領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用前景。

　　

　　微焦點X射線檢測系統(tǒng)由高頻高壓微焦點X射線源、X射線圖像傳感器、計算機(jī)、四維機(jī)械平臺等組成，是集現(xiàn)代計算機(jī)軟件技術(shù)、精密機(jī)械制造技術(shù)、光學(xué)技術(shù)、電子技術(shù)、傳感器技術(shù)、無損檢測技術(shù)和圖像處理技術(shù)等于一體的高科技產(chǎn)品。是進(jìn)行產(chǎn)品研究、失效分析、高可靠篩選、質(zhì)量評價、改進(jìn)工藝等工作的有效手段。

　　

　　系統(tǒng)涵蓋了光、機(jī)、電三大類技術(shù)領(lǐng)域，利用X射線與成像單元相配合，能夠?qū)崟r觀測到輪轂的檢測圖像，從而判定內(nèi)部是否存在缺陷及缺陷類型和等級，同時通過計算機(jī)圖像處理系統(tǒng)完成對圖像的存儲和處理，以提高圖像的清晰度，保證評定的準(zhǔn)確性。既具有持續(xù)穩(wěn)定長時間工作的能力，也具有高放大倍率的能力。

　　

　　微焦點X射線檢測滿足客戶對X射線檢測的需求，外形美觀、檢測區(qū)域大、分辨率強、放大倍率高。該系統(tǒng)采用封閉式射線源和平板探測器作為核心部件，具備的檢測效果。適用于半導(dǎo)體、封裝元器件、電子連接器模組檢測、光伏行業(yè)等特殊行業(yè)的檢測。

　　

　　在進(jìn)行檢測時，常規(guī)微射線檢測存在很大差異：我們通常不需要考慮圖像半影的大小，即通常不考慮幾何清晰度的影響，原因是當(dāng)焦點尺寸足夠小時，可以忽略半影。因此，當(dāng)X射線視野在可接受范圍內(nèi)，我們可以小化從樣品到焦點的距離。

　　

　　為什么要使用微焦點X射線檢測系統(tǒng)，主要是為了達(dá)到納米級直徑跳躍誤差和運動精度，確保樣品在測試過程中的穩(wěn)定性，保證圖像的高清畫質(zhì)，同時具有樣品運動自適應(yīng)校正功能，有效降低了樣品掃描過程中運動和變形引起的不良重建效果。